Schichtdickenmessungen in der Nähe von Kanten zeigen tendenziell zu große Messwerte an, d.h. die tatsächliche Schicht ist kleiner als der angezeigte Messwert.
Dieser Effekt tritt auf, wenn der Abstand des Messpunktes von der Kante kleiner ist als der Durchmesser des Messsensors.
Tabelle der verschiedenen Durchmesser der Messsensoren
Ist jedoch eine Messung deutlich näher an den Kanten als der Sensor-Durchmesser durchzuführen, dann ist genau in dem gewünschten Messabstand zur Kante auch eine Kalibrierung auf einem unbeschichteten Teil durchzuführen. Der Kantenfehler ist dann durch die Kalibrierung eliminiert.
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